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光电玻璃清洗设备_各种晶体清洗设备

信息更新时间:2021-06-05 11:05:53 点击:143

酸碱洗槽清洗机

用于晶片或其他被洗工件的酸碱洗腐蚀,

控制模式: 手动控制模式   自动控制模式,

清洗能力:2-8英寸晶片或其他被洗工件。

需甲方提供花篮或我司设计篮具。                             

设备形式: 室内放置型。

洁净度:千级洁净室 。

工艺说明:手动方式实现放片(工件),取片(工件),槽体间传送片。

工艺参数(温度,时间,DI水清洗流量,时间)手动设定超声波清洗机

一、设备外型结构及主要参数

 1、控制模式:  手动控制模式   自动控制模式,配置振板式超声槽;

 2、清洗能力:2-8英寸   1-2篮/批;  

 3、设备形式: 室内放置型。

 4、尺寸(参考,详见图纸,含地脚):2500  mm(L)× 1500 mm(W)× 2000+800  mm(H)。

 5、机台总体结构定分为两部分,机械运行机构装置与机台前方;机台前方为清洗工作区域及机械行走区,机台后上方为电器和气路布置区域,后下方为液路布置区域。

二、工艺流程细节及槽体布局及配置

 1、工艺说明:机械传动,自动方式实现槽体间传送工件;

 2、腐蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性

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