紫外线消毒器安装典型阶段是在活性碳过滤器之后或RO 之前，或者将紫外消毒及TOC 降解系统设置于精处理单元。活性碳过滤器后面加上合适紫外消毒系统或RO 处理单元之前装一个合适紫外线消毒系统将杀灭进水中99.9%的细菌。
紫外设备可以安装在超纯水系统的各种位置。安装或改造现有管道和容器相对简单，可实现最低程度的生产扰动和最小的占地要求。根据使用目的不同，唯一需要进行定期维护的工作是每12 个月更换一次紫外灯管，可由现场工作职员进行简单的操纵即可完成。一旦安装完毕，处理工厂就可以天天24小时运作，无需停机对系统进行日常卫生维护和消毒。
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