六甲基二硅氮烷_999-97-3_半导体助剂

六甲基二硅氮烷 999-97-3 六甲基二硅胺烷 半导体助剂

中文名称：六甲基二硅氮烷

中文别名：六甲基二硅亚胺; 1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷; 六甲基二硅胺烷; HMDS

英文名称：1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazane

CAS号：999-97-3

EINECS号：213-668-5

分子式：C6H19NSi2

分子量：161.39

性状 无色透明液体、无毒、略带胺味

密度(25℃)g/cm3：0.770—0.780

折光率()：1.408±0.002

六甲基二硅氮烷含量(%)：≥99.0

六甲基二硅氧烷含量(%)：≤0.7

三甲基硅醇含量%：≤ 0.3

闪点：27℃

沸点：126℃ 色度：≤10

用途：特种有机合成。衍生物等合成过程中的甲硅烷基化。硅藻土、白炭黑、钛等粉末的表面处理。半导体工业中光致刻蚀剂的粘结助剂。

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