低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质中的第四态,当外加的电压达到气体的放电电压时,气体被击穿,产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中电子的温度虽然很高,但重粒子温度却很低,整个体系呈现低温的状态,所以被称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用,使污染物分子在极短的时间内发生分解,并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。(注:低温等离子体相对于高温等离子体而言,属于常温运行。)
等离子体反应的区域富含极高的物质,如高能电子、离子、激发态分子和自由基等,废气中的污染物质可与这些具有较高能量的物质发生反应,使其污染物质在极短的时间内发生分解,并发生后续的各种反应以达到讲解污染物的目的。与传统电晕放电形势产生的低温等离子技术相比较,等离子体技术放电的密度是电晕放电的1500倍。
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